產(chǎn)水量1噸/小時(shí)的半導(dǎo)體超純水設(shè)備
【南京純水設(shè)備】產(chǎn)水量1噸/小時(shí)的半導(dǎo)體超純水設(shè)備
一、參數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)
1、水質(zhì)指標(biāo)
1）電阻率：≥18.2 MΩ·cm（25℃）。
2）離子含量：硼≤0.005μg/L，硅≤0.01μg/L，金屬離子≤10ppt。
3）顆粒物：<50nm微?！?/span>100個(gè)/L，TOC≤5 ppb，DO≤5 ppb。
2、設(shè)備材質(zhì)
1）管路：全316L不銹鋼或UPVC。
2）水箱：316L氮封純水箱，防止CO?溶解。
二、配置與工藝流程
1、預(yù)處理系統(tǒng)
1）多介質(zhì)過(guò)濾器：去除懸浮物、顆粒物（粒徑>5μm），采用石英砂與無(wú)煙煤分層填充，流量匹配1T/H。
2）活性炭過(guò)濾器：吸附有機(jī)物、余氯及異味，選用椰殼活性炭，需定期更換。
3）軟化系統(tǒng)：軟化水質(zhì)，采用鈉型離子交換樹(shù)脂，防止RO膜結(jié)垢。
4）保安過(guò)濾器：5μm折疊濾芯，保護(hù)RO膜免受顆粒損傷。
2、反滲透系統(tǒng)
1）高壓泵：南方泵CDL8-10（功率3.7kW），壓力1.2-1.5MPa。
2）RO膜：陶氏DOW XLE-4040，脫鹽率≥99.5%。
3、深度脫鹽系統(tǒng)
1）EDI模塊：西門子IONPURE，電阻率≥15 MΩ·cm，采用核子級(jí)樹(shù)脂與離子交換膜，硼離子脫除率≥99.9%（出水≤0.005μg/L）。
2）拋光混床：核子級(jí)陰/陽(yáng)離子樹(shù)脂，進(jìn)一步去除微量離子，電阻率可提升至18.2 MΩ·cm。
4、終端后處理系統(tǒng)
1）TOC脫除器：185nm+254nm紫外線聯(lián)用，降解有機(jī)物（TOC<5 ppb）。
2）終端超濾：0.01μm孔徑膜包，攔截膠體與微粒（粒徑<50nm，數(shù)量<100個(gè)/L）。
3）脫氣膜：去除溶解氧（DO<5 ppb），避免氧化。南京反滲透純水設(shè)備 南京EDI超純水處理設(shè)備 南京工業(yè)純水設(shè)備 南京實(shí)驗(yàn)室超純水設(shè)備 南京醫(yī)藥純化水設(shè)備 南京去離子水處理設(shè)備
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